破产三轮车厂,被我干成万亿巨头

第221章 长天光学突破(2/2)

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首发:~第221章 长天光学突破

许晨离开长天光学的无尘车间。

回到天宇集团总部的办公室,许晨脱下外套,喝了一口水。

晨宇资本负责人陈立峰一同进入。

当初去长春找王立国谈判,就是陈立峰带着法务部骨干一路跟进的。

许晨坐下,目光转向陈立峰,“我之前交代你的另外两件事,目前进展怎么样了?”

造光刻机,有三座大山。

光学物镜系统、超精密双工作台、核心光源。

许晨早就知道,国家在2016年其实已经出了不少成果,但很多都停留在实验室阶段,缺乏商业化量产的稳定性。

光靠一个长天光学,造不出完整的光刻机。所以在投资长春光机所后,他立刻让陈立峰带着资金,去国内寻找另外两座大山的顶尖团队。

“许总,按照您的指示,这两条线这大半年来我一直在亲自跟进。”

陈立峰打开厚厚的公文包,拿出了两份绝密的文件递给许晨,“有了天宇的资金支持,他们的研发进度同样比国家原定的计划提前了一大截。”

“首先是超精密双工作台。”陈立峰指着第一份文件,“我们找到了水木大学的朱建平教授团队。我们砸了6个亿进去,联合水木大学,成立了天卓精密控制技术有限公司。”

陈立峰翻开报告:“许总,光刻机在曝光的时候,底下承载硅片的工作台需要飞速移动。这就好比,您需要在一列时速三百公里的高铁上,不仅要用针去穿线,而且每次穿线的误差不能超过一根头发丝的万分之一。”

“更变态的是,为了提高效率,现在都是双工作台。一个台子在底下测量,另一个在上面曝光。等曝光完了,两个台子还要在极其狭小的空间里瞬间互换位置,期间不能有任何震动。”

陈立峰指着报告上的数据,语气激动:“原本朱教授团队在实验室里只有初代样机。但这大半年来,天卓精密直接搞出了商业量产级别的工程机!在高速运动下,咱们晶圆台的定位精度已经压缩到了惊人的1.5纳米!双台交接的同步延迟几乎为零,彻底打破了阿斯麦(ASML)在这项专利上的垄断!”

许晨满意地点了点头:“1.5纳米的精度,这比原计划快太多了。这台子稳,咱们的光刻机跑得就快。那激光那边呢?”

陈立峰翻开第二份文件:“光源这边,我们盯上的是中科院光电所的郑勇博士团队。联合光电所以及国内几家半导体材料企业,我们控股组建了天虹激光科技股份有限公司。”

“光刻机的光源,可以说是雕刻芯片的那把‘刀’。”陈立峰解释道,“我们不能用普通光,波长太大刻不细,必须用深紫外激光。这就好比在一粒米上刻字,必须用最细的手术刀。”

“但这把手术刀其实是个闪光灯。它需要在一秒钟内连续闪烁几千次,而且每一次释放的能量必须绝对一样,不能多一丝一毫,否则刻出来的电路就会深浅不一、导致短路。”

......

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