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首发:~第328章 一石二鸟
可以让其先长一层氧化膜,开窗口,掺杂。
再长一层,再开窗口,再掺杂?
这样一层一层叠上去,会不会在一块半导体上做出很多不同功能的区域?
当然,这只是一个外行的瞎想。
我学的是精密仪器,对半导体一窍不通。
但如果你那边的同事有兴趣,也许可以试试那种多次氧化、多次腐蚀的路线。我觉得挺有意思的。】
她顿了顿,又在嘴里念叨了一遍,感觉应该没毛病。
多次氧化、多次光刻,放在1955年,听起来确实合理。
但实际上,每一次光刻都会引入对准误差,层数越多,良率越低。
到了后世,平面工艺的主流是一次光刻,多层淀积,而不是反复开窗口。
她指的路是死胡同,但至少要三五年后才能被人发现。
不求能阻拦多久,最起码让她在回国之后能赶上点进度。
她笑得肆意,又开始继续写。
【另外,我记得你在会上提到过模板转印的设想,我回去想了好久,觉得如果能把电路图案做得足够大,比如手掌那么大,然后用很多个强光源同时照射,是不是就能一次性转印出很多个电路?这样效率会不会提高很多?】
她差点笑出来。
把图案做大,然后多个光源同时照射。
听起来很聪明,但光学投影中有个基本定律。
分辨率与波长成正比,与数值孔径成反比。
图案做大,意味着需要更大的掩膜版和更均匀的光场,而多光源干涉会让边缘模糊得一塌糊涂。
这条路走下去,最后会发现花几十年也做不到高精度,还得回到缩小投影和步进重复的老路上。
【科学需要异想天开,这句话说得真好。我的异想天开就是。也许有一天,我们不需要在芯片上刻出各种形状,而是直接把不同的材料一层一层地堆叠上去,用材料本身的特性来实现电路功能?那样就没有光刻什么事了。不过这个想法太疯狂了。】
【你的朋友,时珈一】
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