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首发：~第149章 这怎么可能……
少则数千份。
多则数万份。
梁致远的眉头逐渐皱了起来。
一开始。
他还以为这只是将公开论文和行业资料整理到了一起。
可目录里的分类方式，却极为专业。
甚至连国内目前尚未完全掌握的部分技术路线，都被单独划分了出来。
梁致远没有浪费时间。
他的研究方向，主要集中在半导体材料、器件结构和集成电路工艺可靠性。
最近一段时间。
半导体所正在重点攻关的，正是六十五纳米工艺中的铜互连问题。
想到这里。
梁致远移动鼠标，点开了第六类。
【铜互连与低介电常数材料】
下一秒。
又是一长串更加详细的目录出现在屏幕上。
【铜互连电镀液配方及添加剂控制】
【钽及氮化钽扩散阻挡层沉积工艺】
......
梁致远的目光，猛地停在了最后一项上。
【六十五纳米工艺铜互连可靠性完整解决方案】
这正是他们半导体研究所目前正在进行的重点项目。
为了推进六十五纳米工艺量产，半个月前，所里才正式成立了专项小组，由他亲自担任项目负责人。
梁致远立刻点开了这份资料。
屏幕上再次出现了数十个子目录，一层套着一层，似乎详细到怎么也点不完。
梁致远连续点击五六次以后。
密密麻麻的数据、公式和实验图表，终于铺满了整个屏幕。
梁致远快速翻了两页。
原本放在鼠标上的右手，突然轻轻颤抖了一下。
“这……”
他下意识坐直身体，又往下翻了几页。
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