第309章 第一道光(1/4)

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上海的七月，热得像蒸笼。

赵四走下火车时，扑面而来的不只是热浪，还有一股混合着机油、铁锈和潮湿空气的工业味道。上海元件三厂。

前身是生产电子管的国营厂，现在被划给了748工程，作为第一条4位微处理器生产线的筹建地点。

厂门口挂着新牌子：“748工程上海实验基地”。字是刚刷的，白底红字，在烈日下有些刺眼。

林雪已经在门口等着了，晒得满脸通红，工装后背湿了一大片。

“赵总工！”她小跑着迎上来。

“怎么是你来接？陈启明他们呢？”赵四把简单的行李递给她。

“在车间，出事了。”林雪压低声音，“第一炉光刻，良品率……不到5%。”

赵四心里一沉：“走，去看看。”

车间是原先的电子管装配车间改造的，窗户都封死了，装了简易的空调和除尘设备。

一走进去，一股更复杂的气味扑面而来。化学试剂、臭氧、还有金属烧灼后的焦味。

陈启明、张卫东都在，还有上海本地的刘工，几个人围在一台老旧的光刻机前，脸色都很难看。

“赵总工。”陈启明看见他，嗓子哑得厉害。

“具体什么情况？”赵四没废话，直接走到工作台前。

台上摊着几片晶圆，在日光灯下泛着诡异的彩色光泽。

他拿起一片对着光看。

上面刻蚀的电路图案模糊不清，有的地方线条断了，有的地方粘连在一起，像小孩子拙劣的涂鸦。

“这是第一炉？”赵四问。

“第三炉了。”刘工苦着脸，“第一炉全军覆没，第二炉好点，有3%能用。这炉……最多5%。”

“问题出在哪？”

“不知道。”陈启明抓了抓头发，头发上沾着不知名的化学粉末，

“光刻胶不均匀？曝光时间不对？显影液浓度有问题？都有可能。我们挨个试，试了三天，还是这样。”

赵四放下晶圆，走到光刻机前。

这台机器是六十年代初从东德进口的，原本用于生产简单的晶体管。

控制面板上的德文标签已经磨损，几个旋钮的刻度都模糊了。

“机器校准过吗？”

“校准了三次。”张卫东说，“我和刘工亲自调的。光学系统我们也拆开清洁过，镜片没问题。”

“光刻胶呢？”

“按配方配的。”林雪接口，“我们试了三种配方，这种效果最好，但也……”

赵四沉默了一会儿，环视车间。