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首发:~第135章 诸君,且听龙吟!
一台由崇明科技自主研发组装;
另一台……无人追问来源,只知它“本就该在这里”,所有档案、图纸、验收记录一应俱全,仿佛从项目立项之初便存在。
连海关、工信、审计都查不出任何异常——系统之力,已悄然抹平了逻辑的褶皱。
此刻,中央派来的观察组已就位:
国家02专项总指挥
科技部副部长;
军委装备发展部代表;
中科院院长亲自坐镇。
所有人都屏住呼吸。
赵崇明站在控制台前,一身深色西装,神情沉静。
他看了眼林振邦老人颤抖的手,轻声问:“林老,可以开始了吗?”
林振邦深深吸了一口气,眼中泛着泪光,却用力点头:“开……开机!”
赵崇明转身,按下红色启动键。
嗡——
低沉而稳定的轰鸣声从光刻机内部传来,如同巨龙苏醒。
激光源点亮,193nm深紫外光束穿过精密透镜组;
超纯水浸没系统启动,液膜均匀覆盖硅片表面;
纳米级工件台以0.1微米精度移动,定位误差小于3纳米。
大屏幕上,实时监控画面跳动:
曝光开始……
套刻精度:2.8nm(目标≤4nm)
线宽均匀性:±1.1nm(目标±1.5nm)
良率预测:92.7%
时间一分一秒过去。
十分钟后,机械臂缓缓托出第一片测试晶圆。
检测仪扫描完成——
图形完整,线宽38.2nm,无断线、无桥接、无畸变。
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