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首发:~第86章 送政绩,沙瑞金的羡慕:德汉,你有一个好儿子啊!
赵崇明想要,还不打算花钱?
沙瑞金饶有兴趣道:“这么说,你是有打算了?”
一边说着,沙瑞金抬了抬手,招呼两人坐下。
赵崇明上前一步,打开公文箱,取出一叠文件,双手呈上:“沙书记,我也很直白的说了,这块地给我,会给汉东省带来巨大的经济价值及,我不吹牛逼,我就是来送一个国家战略机会。”
“好大的口气!”
沙瑞金接过文件,只扫一眼封面,便坐直了身体:《国产38nm浸没式光刻机核心技术白皮书(初稿)》
申报单位:崇明科技
已申请发明专利:47项
浸没式流体控制系统9项:解决水痕、气泡、温度波动问题
纳米级双工件台运动控制:12项实现±1nm定位精度,含磁悬浮、激光干涉仪反馈
193nmArF光源稳定性:7项国产准分子激光器脉冲控制、能量均匀性
光学像差实时校正算法:8项软件补偿镜头制造误差。
整机集成与对准系统:11项多模块协同、晶圆-掩模同步。
光学系统:采用非球面反射+多层镀膜技术,数值孔径NA=1.35;
工件台:纳米级定位精度±1.5nm,速度达500mm/s;
控制软件:全自主开发,支持实时误差补偿;
关键突破:绕过ASML核心专利,构建平行技术路径。
47项专利看起来并不多,ASML一台EUV光刻机,涉及超10万项专利,但是,赵崇明的47项基础性、不可绕过的底层核心专利”,这是足以构建自主技术路径,规避ASML专利墙,实现“合法国产化”。
他一页页翻看,手指微微发颤。
“这……是真的?”沙瑞金抬头,眼中震惊难掩:“能打破《瓦森纳协定》封锁?”
“不是能,是已经。”
赵崇明笑吟吟的开口道:“样机正在组装,其中绝大多数的零件,我可以这么说都可以在国内实现生产,当然,一些关键的零件还是需要进口,我的计划是这样的,尽量国产,能不进口就不进口!”
沙瑞金问道:“什么时候能组装起来?”
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