第423章 来自专家的震惊(2/2)

首发：~第423章 来自专家的震惊

苏工疑惑的说着：

“不对啊，这好像的系统自己升级的，这怎么可能？”

古工没有说话，他的目光扫过升级后的技术参数表，在曝光线宽那一栏停了下来。

上面的数字让他摘下老花镜擦了又擦，重新戴回去又看了一遍。

还是一样。

古工不可思议的吼道：

“什么??零……零点一纳米？”

“苏工，你先别管日志了，赶紧放晶圆进去，跑一炉看看。”

苏工点了点头，手在控制面板上操作的时候明显比平时更用力。

光刻机启动，这次运行的参数和昨天完全不同——曝光光源的波长切换到了极紫外波段，运动平台的步进精度调到了新参数的上限，光学系统的像差校正算法也比之前复杂了很多。

这一次的试制时间比昨天长了一大截。

两个人在机器前面站了整整四个小时，期间古工的茶凉了也顾不上续。

苏工全程盯着运动平台的实时数据，每一个位移数据都精确到了小数点后面好几位。

那些数字在屏幕上跳动的时候，苏工的表情从困惑变成了难以置信——因为数据的波动幅度小到了他之前从未见过的程度。

滴～

制作结束。

晶圆退出的时候，苏工用真空吸笔夹起它的动作比任何时候都小心。

他把晶圆送进扫描电子显微镜，按下检测键。

图像在屏幕上缓缓聚焦，聚焦完成的那一刻，苏工整个人往后靠了一步。

苏工的眼睛盯着屏幕：

“不可能，这不可能。”