第421章 准备就绪，可以试制(3/3)

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第六周，精密运动平台的装配开始。

苏工和秦师傅配合，把磁悬浮直线电机和压电陶瓷致动器组装到运动平台的大理石基座上。

装配精度要求极高，电机定子和动子之间的气隙只有几十微米，装配过程中稍有不慎就会导致气隙不均匀，影响运动平台的定位精度。

秦师傅用了两天时间反复校准气隙，用塞尺一个点一个点地测，直到所有的测量点都在公差范围内。

苏工在旁边用激光干涉仪同步监测运动平台的位移精度，每装一个组件就测一组数据。

到第六周末，精密运动平台装配完成，定位精度达到图纸标注的零点五纳米。

第七周，光学系统、精密运动平台和曝光系统进入联合校准阶段。

这是整个光刻机制造过程中最复杂的一道工序。

三个子系统各自独立调试的时候都能达到设计指标，但组装在一起之后，系统之间的相互影响会产生新的误差源。

光学镜组和运动平台之间的对准误差、曝光光源的光强均匀性对成像质量的影响、控制系统的实时反馈延迟——这些都需要在联合校准中逐一排除。

古工和苏工连续四天没有离开洁净车间。

他们在车间角落里支了两张行军床，轮换着睡几个小时，醒来继续调。

许锋每天去两次洁净车间，早上七点一次，晚上十点一次。

他不插手具体的调试工作，但每次都会在工序记录表上签字。

第八周，联合校准完成。

古工在工序排期表上划掉了“联合校准”那一行。整张排期表上只剩最后一项没有打勾——“首次试制”。

首次试制安排在一个周二的上午。古工选周二是因为周一是例行碰头会，所有子系统的状态都要在会上确认一遍，确认完毕之后才能开始试制。周一的碰头会开了不到二十分钟，因为所有子系统的状态都是绿色的。

周二早上七点，许锋到洁净车间的时候，古工和苏工已经在做最后的检查。

一片直径两百毫米的测试晶圆被装进精密运动平台的夹具上，光学系统完成了最后一道自检程序，曝光光源预热到额定功率。

洁净车间里所有的参数都在显示屏上实时跳动——温度、湿度、气压、振动、粒子数，每一个参数都在标准范围以内。

此刻，光刻机随时可以启动。