第257章 从今天开始，游戏规则变了【求订阅】(3/7)

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「在过去，光刻机的进化，是在一条既定的道路上，追求更快的马。」

「而今天我想分享的，是我们为何选择，以及如何造出了一辆车」」。

说完。

背后的大屏幕中，并没有展示晶片图片，反倒是调出了一组对比鲜明的动态模拟图。

左侧为传统轰击锡滴方案，右侧则是逐光使用的全新极紫外光源系统。

徐铭侧过身子看向屏幕，为大家介绍的同时，还不忘在后面报出三个数字。

「相比较传统的锡滴发生器和雷射路径，我们根据基础物理学的新理论发现，设计出全新的极紫外光源。」

「它的能量转化效率达34%，热负载降低87%。

「连续无维护运行时间，理论超过3000小时。」

首次在大会中披露出逐光的详细数据，几乎当声音在会场落下的瞬间，台下顿时响起阵难以置信的窃窃私语。

温克姆以及技术官布林克，皆身体前倾，眉头紧蹙。

身为阿斯麦半导体设备执行长，他太清楚这些数据意味著什么。

自家公司的工程师，为提升几个点的转换效率，降低几摄氏度的镜片热变形付出的代价，在这一刻似乎显得有些近乎悲壮。

「原来是这样。」

「难怪他们能解决物镜系统的短板。」

他回想起华国研发光刻机，在物镜上面一直以来的技术落后，先前还在疑惑为何能如此快突破，现在才明白竟是凭借全新的光源系统来进行弥补。

念头停留在这里，嘴唇忍不住微动，用仅能身旁布林克听见的声音自顾自低喃一句。

「这不是改进，是对光源物理的重新书写。」

然还没容他继续思考，注意力顿时又被台上，徐铭放出的新内容吸引。

「凭借逐光极紫外光刻机，和璇玑算法工具，以及由我们自主研发的全新一代光刻胶共同配合，首次全链路流片验证便取得圆满成功。」

「设备综合利用率98.7%。」

「预测良率98.3%。」

「实际量测良率99%。」

目光盯著屏幕中，那近乎一条直线的波动曲线，温克姆脸上的自信彻底消失不见。

他下意识地看了眼身旁的布林克，发现后者正捧著笔记本电脑快速敲击，似乎是在验算著什么，并且整个脸色越来越白。

公司最先进的工厂，要打成这样的稳定性，需要多复杂的自适应调教，多么漫长的工艺爬坡，他们两个人可以说都非常心知肚明。

如此小的预测和实际测量误差，完全违背了他们熟知的工业常识。

却也说明对方已经具备成熟的系统协同。

毫不夸张的讲，他们与海外众多客户，数十年磨合建立的共生生态，被这种更高效更封闭的内循环模式挑战。