第244章 流片数据出炉，光刻机主体成功(3/5)

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说完。

负责优化璇玑系统的苏振豪，同样不再保持沉默，紧跟在潘耀的话后，也停下手上动作，转过身报告工作进度。

「璇玑系统优化完成。」

闻言徐铭猛地从椅子上站起身。

目光先是依次在潘耀和苏振豪身上扫过，然后看向贺鹏涛和丁顺安，在短暂的眼神交流后，下秒便不再过多耽搁时间，立即下达了最重要的指令。

「开始吧。」

「是徐总设计师。」潘耀和苏振豪几乎同时回应。

紧接著所有科研人员，再次投入到紧张的工作状态，神情保持著高度专注。

此次流片验证采用的测试晶片，是一颗不包含复杂功能的专用测试晶片，其版图由璇玑系统软体生成。

包括解析度测试图案，套刻精度标志，电性测试机构，和特殊监测图形等。

不多时。

在超净间外，徐铭和科研团队，通过观察窗，看著第一片矽片被送入珠光极紫外光刻机，整个气氛庄重而充满期待。

当全系统链路功能验证流片流程开始启动，严格按照璇玑输出的工艺档和珠光的标准参数执行，而这个过程也需要一定的时间，需在晶圆片完成制造后，进行光学量测和电子显微镜检测。

或许是看到氛围太过严肃，这个时候一直没发言的余高远，终于舍得主动开口。

「真让人惊心动魄啊，不知道有多久，没经历过这种心情了。」

说这句话时，故作轻松的语气，和脸上堆出的微笑，为大家的情绪增添一些不同的波动。

「大家的压力确实不小。」贺鹏涛点点头附和句。

前脚话音刚落，身旁科学院化学研究所的周启深院士，也接过话茬道：「国家有徐总师这样的天才，我相信逐光极紫外光刻机，肯定能光刻出良好的各层图案。」

他比贺鹏涛和丁顺安小上几岁，在光酸剂与树脂等分子设计，以及合成与作用机理等研究领域，位于国内领先地位。

对国家化学材料的发展，做出过重要贡献。

此次整合国内资源，成立国家集成电路制造研发创新中心，他所在化学研究所，也被纳入整合范围。

负责国产高端光刻胶的研发工作。

其中值得一提的是，徐铭擅长数学物理甚至信息学科，凭借自身实力和天赋，带领光刻机和晶片设计软体，快速实现技术叠代。

以至于经常能在网上看到，又有新的进展新闻。

这对他们光刻胶项目组团队来讲，无疑有著巨大的压力。

只能依靠自身。

尽最大努力，保证国产高端光刻胶的研发，做到不拖其他项目部门的后腿。