第223章 实验验证的核心挑战(2/4)

首发：~第223章 实验验证的核心挑战

「徐总师。」

「我这边已经准备妥当，随时可以开展实验。」

「微电子装备也一样。」丁顺安补充道。

徐铭听完两位院士的话，又看向两旁眼中浮现出炙热目光的教授研究员，也终于不再卖关子，嘴角微微上扬拍板正式做出决定来。

「那好。」

「下面我来安排具体任务。」

他这几天沉浸完善设想补充漏洞，正是为了能尽快验证极紫外光源。

只要解决了最核心的光源系统，那么距离国内攻克高端极紫外光刻机也就不远。

主要高端晶片涉及到的行业实在太多，还关系著很多先进技术的更新叠代，必须用最短的时间走出困境才行。

否则较长时间待在这空窗期内，很有可能会再次被海外拉开差距。

尤其是六代机项目，好不容易才与海外站在起跑线。

既然大家都没有什么意见，他肯定也不会耽搁，话音落下后便直接安排起来O

极紫外光源被称作难以驾驭的微光，海外方面的主流技术是采用雷射激发等离子体，需要用高功率雷射，以每秒数万次的频率轰击滴下的液态锡滴，将其激发成等离子体从而发出极紫外光源。

但由于过程的能量转换效率极低，要满足晶片量产所需要的曝光速度，其功率必须达到250瓦以上，这意味著输入的能量是巨大的。

除此之外整个光路还要在真空环境中进行，使得系统复杂性大幅度上涨。

再加上锡滴方案产生的碎屑，更让极紫外光源系统成为科研人员的噩梦。

而徐铭的设想，则是对系统重新架构。

相比较主流方法的动态轰击液体锡滴，他采取了静态激发的方案。

用一束高强度和高重复频率的雷射，照射在高速旋转的光源靶盘上，如此通过等离激元耦合态理论，雷射能够在每一点上瞬间激发耦合态，从而稳定以及高效的辐射出极紫外光源。

不但绕过了海外的专利壁垒，还更加高效且规避了锡滴碎屑带来的苦恼。

有助于延长光源的寿命时间。

随著徐铭同众人，在具体实验上展开讨论，原本大家困惑的东西也立刻变得清晰起来。

内心激动之下，毫不掩饰脸上浮现出的期待。

「关于光源靶盘的制造，需要覆盖特殊薄膜，可以拜托给材料院帮忙研发。」

「其余我没有任何意见。」

贺鹏涛全程认真听完徐铭的所有话，待相关任务安排全部讲完之后，率先开口提出自己的观点表明态度。

话音刚落。

旁边的丁顺安也未沉默，立刻接过话茬附和。

「我同意老贺的提议，交给材料院，会在很大程度上节省我们的时间。

「这样我们能更快进行验证。」