第408章 风起华盛顿(1/5)

首发：~第408章 风起华盛顿

“不过它对我们而言，也不是完全没有价值的。

各位，我下面说的，大家剩下学习的时间里一定要认真研究，重点关注。”

陈磊说：

“NIL光刻机路线不一定有未来，但它所蕴含的技术未必就没价值。

我们完全可以把这项技术中有价值的给拆出来，用在我们的光刻机路线上。”

陈磊的话，让在座的其他专家一下就打起了精神。

“这几天我一直在复盘佳能那台FPA-1200NZ2C的每一个细节。

它的核心那个纳米压印的‘模头’，以及配套的UV固化系统，对我们来说是毒苹果，因为它和我们的DUV体系不兼容，而且捆绑了材料陷阱，我们后续如果林总给不出解决办法，那么我认为我们必须坚决地把它剥离掉。”

他拿起笔，在笔记本上NIL结构图的压印核心部分，画了一个大大的红叉。

“但是，”他话锋一转，用笔圈出了结构图的另外三个部分，“这台机器的骨骼、神经和循环系统，对我们来说，有着非凡价值。”

王工饶有兴致地问：“陈博士，具体说说？什么是它的骨骼、神经和循环？”

陈磊博士：“骨骼，我指的是它的超精密工件台系统。”他指向图纸的底座部分。“NIL是接触式光刻，每一次对准和移动，对工件台的平顺性、稳定性和定位精度的要求，比我们想象的还要苛刻。

佳能毕竟是光学和精密仪器巨头，他们在运动控制、减震和材料学上的积累非常深厚。

我们的光刻机现在最大的瓶颈之一，就是工件台在高速运动下的稳定性和套刻精度。

如果我们能彻底摸清佳能这套系统的设计逻辑、控制算法和驱动方式，哪怕只是学到七成，我们的套刻精度指标至少能再提升50%。

这是我根据公开资料的猜测，具体多少，要等到我们把佳能的技术融入到我们的工艺之后才能有更进一步的具体判断。”

王工摩挲下巴：“如果真能这样，我们的良品率还能提高一大截。”

陈磊接着说道：“是的。

然后是神经系统，它的全流程缺陷检测与测量单元。

NIL的致命弱点是缺陷率，所以佳能肯定在机器内部署了全世界最顶级的实时检测系统，用来在压印前后快速扫描晶圆，定位纳米级的颗粒和图形错误。这套技术是通用的。

王总，我们的产线现在主要依赖离线抽检，效率低，而且很多缺陷发现时已经晚了。

如果我们能把这套神经系统移植或复制过来，集成到现有工艺流程里，我们的良率又能爬上一个大台阶。

无论是国产生产线，还是说用ASML的那些生产线，都能用到这个系统。”

“最后一个，循环系统呢？”另一位李工问道。

陈磊说：“这就是我认为最有价值，也最意想不到的部分：喷墨式精准涂胶系统。”

他指着NIL设备中那个类似打印喷头的装置：“传统的DUV光刻，是用旋转甩胶的方式给晶圆涂上光刻胶，超过95%的昂贵光刻胶都被浪费了。

而NIL为了精准压印，开发了类似喷墨打印的技术，需要哪里有图形，就在哪里喷涂一滴树脂，用量极省，而且均匀性可控。”

他看向李工慢慢说道：“李工，想象一下，如果我们能把这套喷墨技术嫁接到我们的DUV产线上，用来喷涂我们自己的光刻胶。