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首发:~第1118章 光子芯片
苏哲靠在椅子上,右手伸进裤兜,摸到了那把刮刀冰凉的刀柄。
桌上的台历翻到了十一月二十九日。
倒计时三十天的格子上,他用红笔画了一个圈。
十一月二十九日,量产线联调完成。
产业岛三号厂房的洁净室内,空气净化系统嗡嗡运转,所有人穿着防尘服,只露出一双眼睛。
周明远站在中控台前,背后的巨屏上显示着十七台核心设备的运行状态——全部绿灯,全部切换到了盘古控制系统。
“从今天起,倒计时三十天。”
周明远的嗓子已经哑了三天,开口的时候声音发劈。他把手里那杯凉透的茶搁在操作台边缘,扫了一圈面前的工程师和技术员。
“良率低于百分之六十,这条线就是废铁。你们身上穿的防尘服、脚底下踩的超净地板、头顶上的层流罩,加在一起,一百个亿。”
没人吭声。
“干活。”
联调后的第三天,第一轮试产启动。
五百片晶圆从前道工序进入光刻、刻蚀、薄膜沉积、掺杂、退火,一步一步往下走。每一道工序的参数都是团队反复讨论了两个星期的结果,每一个数值都有理论支撑。
周明远守在检测室门口,三十六个小时没回宿舍。
第四天凌晨两点,最后一片晶圆走完全部制程,送进检测室。
检测程序跑了四个小时。
早上六点零七分,报告出来了。
小韩端着打印机吐出来的A4纸跑过来的时候,脚下打了个趔趄,差点摔进周明远怀里。
周明远一把抢过报告。
五百片晶圆。合格品一百五十片。
良率百分之三十。
周明远盯着那个数字,嘴唇动了两下,什么都没说出来。
他把报告折起来塞进口袋,转身走进工艺分析室,把门关上了。
接下来四十八个小时,周明远带着团队从头到尾排查了每一道工序。
光刻对准精度:达标。
刻蚀均匀性:达标。
薄膜厚度控制:达标。
掺杂浓度分布:达标。
退火温度曲线:达标。
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